(1) Camera a vœui pre-
La funziun de la cambra a vœui pre-l’è garantir che la cambra d’acquaforte l’è mantegnüda a un livel de vœui fissà, che l’è minga influenzada del ambient esternu (cuma polvar, vapur d’aqua) e che isula i gas periculus de la stanza pulida. L’è furmà de una cupertura, de un manipolatur, de un mecanism de trasmisiun, de una pòrta de isulament, ecc.
(2) Camera d’acquaforte
La cambra d’acquaforte l’è la strütüra central del apparecchiatura de acquaforte ICP. G’ha un impatt dirett sül tass d’acquaforte, sü la verticalità del acquaforte e sü la rugosità. I compunent principal de la cambra d’acquaforte sun: eletrodo superiur, unità de radiofrequenza ICP, unità de radiofrequenza RF, sistèm de eletrodo inferiur, sistèm de cuntrol de la temperadüra, ecc.
(3) Sistema de alimentaziun de gas
El sistèm de alimentaziun de gas l’è per purtà vari gas d’acquaforte a la cambra d’acquaforte e cuntrular cun precisiun el fluss e el fluss del gas travers el reguladur de presiun (PC) e el reguladur de fluss de masa (MFC). El sistèm de alimentaziun del gas l’è furmà de una buttiglia de surgent de gas, de un conduttur de alimentaziun de gas, de un sistèm de cuntrol, de un’unità de mescolanza, ecc.
(4) Sistema a vœui
G’he sun dü sistèm a vœui, un per la cambra a vœui pre-e l’olter per la cambra d’acquaforte. La cambra a vœui pre-l’è evacuada de una pompa mecanich. Sultant quand el livel del vœui in de la cambra del vœui pre-riva al valur impost la pœu vèss dervida la purta de isulament per trasferir la wafer.
